結(jié)構(gòu)（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）輸入電源220VAC 50/60Hz, 單相2000W  (包括泵)濺射電源安裝有兩個濺射電源直流（DC）電源：500W，針對于制作金屬膜射頻（RF）電源：600W，可制作氧化物和金屬膜同時可選配300W的射頻電源

磁控濺射頭儀器中安裝有2個磁控濺射頭，而且都帶有水冷夾層，可通入冷卻水對靶材降溫其中一個濺射頭與射頻電源相連接，主要是濺射絕緣性靶材另一個濺射頭與直流電源相連接，主要濺射導(dǎo)電性靶材靶材尺寸要求：金屬靶：直徑為50mm,zui大厚度1.5mm             陶瓷靶：直徑為50mm,zui大厚度6mm儀器中標(biāo)配一個不銹鋼靶和氧化鋁陶瓷靶濺射頭所需冷卻水：流速10ml/min（儀器中配有一臺流速為16ml/min的循環(huán)水冷機(jī)）

也可以根據(jù)自己的要求選擇2個射頻濺射頭或3個射頻濺射頭，訂購前需于本公司銷售人員真空腔體真空腔體：300 mm Dia x 300 mm h，采用不銹鋼制作觀察窗口：  100 mm diameter腔體打開方式采用上頂開，使得換靶更加容易

載樣臺載樣臺尺寸：140mm dia.（zui大可放置4"的基底）載樣臺可以旋轉(zhuǎn)，其速度為：1 - 20 rpm （可調(diào)）載樣臺zui高可加熱溫度為500℃，控溫精度為+/- 1.0 °C

氣體流量控制器

儀器內(nèi)部安裝有2個質(zhì)量流量計量程為：0-200sccm氣體流量設(shè)置可以在6英寸的觸摸屏上進(jìn)行操作真空泵系統(tǒng)配有一套分子泵系統(tǒng)（德國制作），采用一鍵式操作

薄膜測厚儀一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實時監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 ?  LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)

外形尺寸L1300mm× W660mm× H1200mm重量160 kg質(zhì)保期一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

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