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質(zhì)譜分析
TOF-SIMS 中，根據(jù)分子結(jié)構(gòu)反映的質(zhì)譜，能更詳細(xì)的對(duì)
化學(xué)結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析。
影像分析
影像的分辨率，測(cè)量時(shí)有種可供選擇: 256 x 256 ,512x512, 1024x1024 ，每個(gè)像素點(diǎn)都存貯著質(zhì)譜的信息。
測(cè)量之后，任伺區(qū)域的質(zhì)譜都可以在後數(shù)據(jù)處理時(shí)提取出來。
深度剖析
TOF-SIMS 中，經(jīng)過反復(fù)測(cè)量和濺射，得到深層的結(jié)構(gòu)。
這段期間內(nèi)，所有的質(zhì)譜都會(huì)被保存，完成測(cè)量后，任意深度的質(zhì)譜都可以在後數(shù)據(jù)處理時(shí)提取出來。
三維剖析
深度概況的數(shù)據(jù)源于在深度改變時(shí)樣品結(jié)構(gòu)的變化，在進(jìn)行完深度分析後不僅可以擁有內(nèi)部的信息，
三維構(gòu)筑的信息也可以得到。
多功能樣品處理
樣晶托
提供了兩種類型的標(biāo)準(zhǔn)樣晶托，有直徑25mm ，樣晶在樣晶托背面安裝并固定( Back-mount) ，
能放個(gè)樣品的樣品托，方便對(duì)準(zhǔn)樣晶高度。也有直接在樣晶托正面安裝樣晶，可放置和樣晶托一般
大小的樣晶 (100mm ，方便制樣。
加熱冷卻樣品托
用液氮冷卻和用加熱器加熱樣晶臺(tái)，在-150t 200t 之間可控。樣晶托上配有溫度感應(yīng)裝置，當(dāng)樣晶
在進(jìn)樣室開始，軟件即馬上顯示實(shí)時(shí)溫度回讀。另外也可以選配比較高可達(dá)600t只做加熱的樣晶托。
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