標(biāo)準(zhǔn)型烤膠機(jī)廣泛應(yīng)用于物理、材料冶金、高分子聚合物、生命科學(xué)等各個領(lǐng)域。在科研方面隨著近幾年太陽能電池效率屢創(chuàng)新高、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，在此背景根據(jù)不同用途本公司開發(fā)HPR系列加熱產(chǎn)品。此款烤膠機(jī)是針對半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中晶圓烘烤而設(shè)計，加熱模式可選擇手動控溫或軟件控溫。具有升降樣品控制系統(tǒng)，適用多種尺寸硅片，使得樣品在高溫下快速降溫。采用大功率加熱，加熱速度塊，發(fā)熱效率高。

12寸烤膠機(jī)/加熱板產(chǎn)品參數(shù)：烤膠機(jī)供電電壓AC220V,50Hz控溫方式PID 處理尺寸Up to Ф300mm wafer功率3200W 溫度室溫-300℃升溫速率1-20℃/min，可控 溫度均勻性≤±2%面板尺寸330*330mm 控溫精度±0.2℃重量20KG 面板材質(zhì)鋁合金表面鍍陶瓷整機(jī)尺寸380mm*590mm*198mm 時間9999S編程40段

12寸烤膠機(jī)/加熱板可提供定制抽真空、充氣氛，更多選擇可咨詢。

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