桌上型成像儀MSD-150D用于對顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝，適合硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵等。主要應(yīng)用于4、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業(yè)客戶。

本司也提供8寸、12寸桌上型顯影機，更多功能如吹氣、背洗等請咨詢。

桌上型成像儀技術(shù)規(guī)格：項目規(guī)格

主體外殼材質(zhì):鏡面不銹鋼

處理樣品尺寸：6寸晶圓以內(nèi)

承盤:PTFE

馬達:

轉(zhuǎn)速：20-3000 R.P.M

搖臂：自動

操作界面：7寸觸摸屏

顯影裝置藥液裝置:

顯影 x1（控溫可選）

DIW  x1

控制系統(tǒng)系統(tǒng): PLC

使用接口：7寸觸屏

配方:手動和自動模式

編程 : 50 組 20 步

安全裝置晶圓承盤真空滲液保護:真空檢知:

數(shù)字設(shè)定:真空值下限保護

運行結(jié)束報警提示

附件真空泵x1

顯影罐x1

去離子水罐x1

廢液桶x1

真空吸盤x1

https://www.chem17.com/st649911/product_39172048.html

http://www.congone-elec.com/SonList-2576796.html