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日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀介紹：
血YANG定量計(jì)半導(dǎo)體、LCD 和電子元件相關(guān)應(yīng)用用于半導(dǎo)體、電子元件的氧分析儀
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
血YANG儀 MS-500最多可同時測量 8 個點(diǎn)可以顯示從ppm級到100的各種濃度。非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等中。傳感器直接插入（NW 法蘭 16/25/40 用于真空）堅(jiān)固耐用的傳感器，帶有特殊涂層，更耐用日本東麗半導(dǎo)體用氧含量分析儀MS-500 規(guī)格：測量原理氧化鋯陰影電池供電形狀分體式（換能器：壁掛式、傳感器：直插式）顯示方式數(shù)字 4 位顯示（密度顯示）測量范圍0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自動柜員機(jī)
自動量程重復(fù)性± 0.5%FS以下 0-1%范圍或更高
±1%FS或小于0.1ppm ± 小于
0-1% 范圍 0-1ppm，ATM范圍超出濃度保證范圍測量點(diǎn)數(shù)1~8樣氣條件壓力10-3~200KPa（絕對壓力）流量0.5~5,000mL/min或0mL/min（自發(fā)擴(kuò)散狀態(tài)的測量）濕度露點(diǎn)低于環(huán)境溫度溫度0~100°攝氏度其他不含腐蝕性氣體（氟化氣體、硫化物氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。
http://www.bjkitazaki.cn/Products-38212757.html
https://www.chem17.com/st604628/list_2496798.html