NS-3600是一種可靠的三維(3D)激光表面輪廓儀,通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu),如半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等方面有著多種解決方案。
Features & Benefits(性能及優(yōu)勢):高分辨無損傷光學(xué)3D測量 自動傾斜補償實時共焦成像 簡單的數(shù)據(jù)分析模式多種光學(xué)變焦 雙Z掃描
大范圍拼接 半透明基材的特征檢測實時CCD明場和共聚焦成像 無樣品準(zhǔn)備
NS-3600是一種可靠的三維(3D)激光表面輪廓儀,通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu),如半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等方面有著多種解決方案。
Features & Benefits(性能及優(yōu)勢):高分辨無損傷光學(xué)3D測量 自動傾斜補償實時共焦成像 簡單的數(shù)據(jù)分析模式多種光學(xué)變焦 雙Z掃描
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